研究室専有設備
- X線回折装置
- 電気炉
- 汎用高真空排気装置
- 小型高周波誘導加熱装置
- 抵抗加熱蒸着装置
- 電子ビーム蒸着装置
- 薄膜電気抵抗測定装置（四探針法，大気中加熱）
学内共同利用設備
- X線回折装置
- 薄膜X線回折装置
- 走査電子顕微鏡
- 透過電子顕微鏡
- イオン研磨装置
- 示差熱分析装置
学内共同利用設備予約
- XRD: Rigaku Ultima IV with CBO
- FE-SEM with EDS: Hitachi
- Sputter coating for SEM observation
- XRD for thin films: PANAlytical X’Pert MRD
- LV-SEM: JEOL
- TEM: JEOL